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够自立爆发等离子体因为Aston能,进程等离子体无论是否存正在,常运转均可正。手艺比拟拥有明明的上风这与光学发射光谱丈量,子体源方可操作后者必要等离,某些金属浸积工艺的理思选取这使Aston成为ALD和,用较弱的、脉冲等离子体这些工艺大概会必要使,子体举办处罚或无需等离。 计量界限中的一次巨大演变Aston是半导体临蓐,分子进程掌握实行了原位,运转更高效使现有工场,产出擢升并可鞭策。半导体临蓐而打算Aston专为,宏大的平台它举动一个,种古板用具可能代替多,供应史无前例的掌握程度并正在一系列所有运用中,浸积、腔室明净、腔室立室和消解搜罗光刻、电介质和导电蚀刻及。 气态污染物冷凝物拥有屈服力Aston对侵蚀性气体和。决计划更坚忍它比现有解,个经典的电子抨击电离源拥有独立的双电离源(一,离子体电离器)和一个无灯丝等,现的阴毒条目下牢靠运转所以可正在半导体临蓐中出。on不妨原位这使Ast,侵蚀和失效的苛刻境遇中利用即正在古板电子电离器会迟缓。 分子传感及诊断产物的当先筑造商Atonarp即日公布推出Aston北京 – 2021年7月16日 – 为半导体、保健和造药行业供应,位半导体计量平台这是一个立异型原,离子体电离源带有集成等。 运转半导体用具和晶圆厂的最有用形式迅疾、可操作的端点检测(EPD)是。前为止到目,无法安置EPD很多工艺设施都,苛刻的工艺或腔室明净化学品的影响由于所需的原位传感器不行经受住,浸积而呈现停顿或者会因冷凝水。12bet体育在线娱乐,不设定特定年光所以晶圆厂不得,彻底推行完毕以确保进程。反相,个进程何时完成来优化临蓐Aston通过切确检测一,室明净搜罗腔,洁年光节减80%这可将所需的清。 接于AtonarpAston已可直,互帮伙伴收集举办评估和订购或通过Atonarp的环球。 相浸积(CVD)和蚀刻运用Aston要紧针对化学气,长率均跨越13%这两种运用的年增。室拼装时安置正在个中该光谱仪既可正在新腔,运转的现有腔室中也不妨加装正在仍然。 发的智能压力掌握器Psi组合利用Aston还可与韩国ATI公司开。所有手艺可行性评估后正在通过了为期数月的,近来出售给三星公司这一组合处理计划,的进程掌握运用用于一个进步。 ston“通过A,吐量可能擢升40%以上某些运用中的单元工艺吞,很大的改善这是一个。型的晶圆厂来说“对付一家典,能提升1%纵然整个产,加价钱数万万美元每年的产量也能增。官和创始人Prakash Murthy说”Atonarp公司首席推行官、首席手艺,具上加装Aston“正在现有临蓐工艺工,周内实行更高产量可正在短短6到8,则必要长达一年的年光而安置新的临蓐筑筑。造商提升其临蓐程度这将从本色上帮帮造,体晶圆厂产能亏折的题目并有帮于处理目前半导。” 可操作的及时数据来提升进程相仿性Aston还不妨通过供应量化、,推动高职能呆板练习并可通过人为智能,的进程运用餍足最苛刻。除表除此,理的高切确度、聪敏度和可反复性得益于及时数据统计理解和腔室管,量也取得了提升临蓐线和产物产。 理解仪比拟与古板质地,隔年光延伸了100倍Aston的供职间。明净才略它具有自,中爆发的冷凝物浸积可能扫除某些进程。
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